ヘリウムリーク検査について
温度測定用センサーも様々ありますが、極低温環境下で役立つのがセルノックス(Cernox、東陽テクニカ、CXシリーズ)といわれているものです。
セルノックス(Cernox)は、負温度係数の薄膜抵抗センサーで、温度校正範囲: 100mK~420Kの広い温度領域にわたって単一極性の温度応答特性を持ち、磁場の影響を受けにくく、熱サイクルや放射線の照射といったストレスに高い耐性のある負温度係数の薄膜抵抗センサーです。
セルノックスのセンサー素子は非常に小さく、実装される形状に合わせ、多彩なパッケージが用意されています。
●セルノックスの特性
・温度範囲: セルノックスCXシリーズは、100mKから420Kの広い温度範囲で動作します。特に、低温環境での使用に適しています。
・負温度係数: セルノックスセンサーは、温度が下がると抵抗が増加する特性を持っています。これにより、温度変化に対する高い感度を実現しています。
・耐久性: 熱サイクルや強い磁場、放射線に対して高い耐性を持ち、厳しい環境下でも安定した性能を発揮します。
・小型化: センサー素子が非常に小型であり、様々な形状のパッケージが用意されているため、実装が容易です。
●セルノックスの動作原理
セルノックスセンサーは、薄膜抵抗の原理に基づいています。温度が変化すると、センサー内の抵抗値が変化し、その変化を電気信号として測定します。この信号を基に、温度を高精度で測定することが可能です。特に、セルノックスは磁場の影響を受けにくいため、超伝導体や極低温環境での温度測定に適しています。
●セルノックスの用途
セルノックスセンサーは、低温物理学や超伝導研究、冷却技術など、様々な分野で使用されています。特に、希釈冷凍機や超伝導磁石の温度モニタリングにおいて、その高い精度と耐久性が求められています。
このように、セルノックスは極低温測定において非常に重要な役割を果たしており、その特性と原理は多くの科学技術分野で活用されています。
(参考ブログ)
https://www.pec-kumata.com/post/cernox


