本物の技術で高い精度を要求される特殊金属の精密加工・特殊溶接を（3/3）

半導体製造設備からその先の未来へと受け継がれるマツムラスピリット

　新たな課題とは半導体製造設備で必須の超精密バルブ機器の開発です。半導体は、パソコンや携帯電話から家電製品、さらに自動車などあらゆる分野に用いられ、もはや私たちの暮らしになくてはならない存在。半導体チップの素子数は飛躍的に増大し、回路の幅は今や髪の毛の約5,000分の1と微細なものになっています。この製造工程にはほんの少しの埃ですら、紛れ込んではならないのです。

　このバルブには耐酸化性に優れたステンレスSUS316Lで作る必要がありました。さらに溶接した後に中まで溶け込んでいる必要があります。実際に半導体製造バルブに使われる技法で仕上げられた溶接サンプルを手にとらせてもらえました。手で慎重に触ってみても溶接されたとわからないほどの滑らかさ。バルブを通る素材に不純物が混じっては製造機器の不良につながるため、滑らかに仕上げる必要があるのです。高度な技術的要請に応えるため、溶接の前工程である切削加工から後工程の研磨までワンストップで対応できる体制を築き上ていきます。

　さらには当時は実用化が難しいと言われていた自動溶接機の開発も手がけています。まさに八面六臂の活躍。今では本社工場で30台ほどの自動溶接機が稼働しています。でも、松村さんのスピリットを受け継いだ熟練の溶接技能者たちは自分の手の感覚を通してモノづくりをすることにこだわっています。それが「なにわの匠たち」の遺伝子なのかも知れません。

（取材年月：2019年8月）

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⇒幅広い経験値に基づいた高度な溶接技術は狭隘部の接合も可能に